精密平臺：
CAX系列X-Y精密平臺選用高強度鋁合金，經(jīng)應(yīng)力消除處理后再經(jīng)攝氏196度之超深冷處理，可保證長期使用仍保有良好之精密度。工作臺內(nèi)部和進給機構(gòu)裝有5年或20000公里免維護的精密級直線導(dǎo)軌和C3級滾珠絲杠，既保持了原來的性能又實現(xiàn)了長期免維護。實現(xiàn)了穩(wěn)定的高行走精度、定位精度和大搭載質(zhì)量，該結(jié)構(gòu)承受力矩及復(fù)合負荷較強。采用AC400W伺服馬達，全閉環(huán)控制實現(xiàn)了極高精度的定位工作臺。X-Y軸的平臺220mm有效行程專業(yè)為8吋晶元設(shè)計。
型號表示：
CAX15R220-Y220P10-S1-M
（1）CAX15：CAX平臺底座寬度150mm；
（2）R220：X軸有效行程220mm；
（3）Y220：Y軸有效行程220mm；
（4）10：滾珠絲桿的導(dǎo)程分為5mm和10mm；
（5）S1：SX671型極限開關(guān)，S2：SX674型極限開關(guān)；
（6）M：AC400W伺服馬達；可客制化。
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